Технология и формирование наноструктур

Направление:

Наносистемы, нанотехнологии и наноматериалы

Цели

Разработка технологии и методов формирования наноструктур

Задачи

Освоение теоретических и практических основ контактной фотолитографии; Освоение технологии контактной фотолитографии; Освоение технологии электролитического анодирования; Освоение методов исследования микро- и наноструктур.

Результат

1. Разработка технологии получения тонких диэлектрических пленок методом анодирования. 2. Разработка методов формирования наноструктур в диэлектрических и металлических слоях методом контактной фотолитографии.

Этапы проекта

1.
Осенний семестр 2013/2014 учебного года
2.
Весенний семестр 2013/2014 учебного года
3.
Осенний семестр 2014/2015 учебного года
4.
Весенний семестр 2014/2015 учебного года
5.
Осенний семестр 2015/2016 учебного года
6.
Весенний семестр 2015/2016 учебного года
7.
Осенний семестр 2016/2017 учебного года
8.
Весенний семестр 2016/2017 учебного года
9.
Осенний семестр 2017/2018 учебного года
10.
Весенний семестр 2017/2018 учебного года
11.
Осенний семестр 2018/2019 учебного года
12.
Весенний семестр 2018/2019 учебного года
13.
Осенний семестр 2019/2020 учебного года
14.
Весенний семестр 2019/2020 учебного года
15.
Осенний семестр 2020/2021 учебного года
16.
Весенний семестр 2020/2021 учебного года
17.
Осенний семестр 2021/2022 учебного года
18.
Весенний семестр 2021/2022 учебного года
19.
Осенний семестр 2022/2023 учебного года
20.
Весенний семестр 2022/2023 учебного года
21.
Осенний семестр 2023/2024 учебного года
22.
Весенний семестр 2023/2024 учебного года
23.
Осенний семестр 2024/2025 учебного года
24.
Весенний семестр 2024/2025 учебного года
25.
Осенний семестр 2025/2026 учебного года
26.
Весенний семестр 2025/2026 учебного года
27.
Осенний семестр 2026/2027 учебного года

Актуальность

Одной из актуальных задач современной измерительной техники является переход на элементную базу наноэлектроники. К настоящему моменту известны десятки методов создания наноструктурированных материалов. Все методы получения наноструктур возможно условно разделить на два больших класса - физические и химические методы. К физическим методам создания наноструктурированных относятся: плазменное напыление, анодное, магнетронное и т.д. К химическим методам создания наноструктурированных относятся: химическая конденсация паров, электролитическое анодирование и т.д. Одним из наиболее доступных методов модификации наноматериалов является наноструктурирование, то есть создание на поверхности материала или в его объеме наноразмерных структур: слоев, пор и т.д.